一、岳一科技
岳一科技供应光学全检机、视觉检测设备、六面外观检测设备、人工智能检测设备等晶圆缺陷检测相关设备,其信用指数为61,已通过认证并有1项证书荣誉。
二、岱美仪器技术服务(上海)有限公司
设备优势方面
其提供的晶圆缺陷检测设备市场前景广阔,随着半导体产业快速发展(如5G、人工智能、物联网等新兴技术推动)、晶圆质量要求不断提高以及检测设备技术不断进步,需求不断增长。
该公司的晶圆缺陷检测光学系统相比传统检测方法具有高效性(自动化检测,提高效率和准确性)、精度高(采用高分辨率光学成像技术检测微小缺陷)、可靠性强(数字化处理技术消除人为误判等问题)、成本低(采用数字化技术,无需大量人力物力)、适应性强(适应不同类型晶圆)等优势。
设备功能方面
能够检测晶圆表面的缺陷和污染物,如磨损、划痕、光栅缺陷和雾点等,检测后可进行修复、清洁、曝光等步骤以确保晶圆品质。
可以快速准确地检测晶圆表面缺陷,避免缺陷扩散,提高生产效率和产量,还能精确控制工艺参数(通过实时监测晶圆表面情况为后续制程工艺提供反馈),稳定产品品质(减少人为因素影响)。
设备维护方面
设备需要具备良好的可维护性和可升级性,其晶圆缺陷检测光学系统的使用寿命受使用频率、环境湿度、温度和灰尘积累等因素影响,一般在3 – 5年左右,可通过定期保养(如清洁光源、摄像头等零部件)来延长寿命。