设计阶段瑕疵检测系统的性能评估指标主要包括以下几个方面：
1. 准确性和精度：这是评估瑕疵检测系统性能的基础指标。准确性反映了系统检测结果的正确性，而精度则体现了系统对瑕疵细节的捕捉能力。这两个指标直接影响系统在实际应用中的可靠性。
2. 召回率和特异性：召回率衡量了系统在检测瑕疵时的敏感度，即系统能够正确识别出的瑕疵比例。特异性则反映了系统在判断非瑕疵时的准确性。这两个指标共同体现了系统在正负样本判断中的综合性能。
3. 处理速度：处理速度是指系统在单位时间内能够处理的图像或数据量。这一指标对于瑕疵检测系统在生产线上的实际应用效果至关重要，因为它直接关系到生产效率。
4. 测量精度：对于具体的瑕疵检测系统，如薄膜在线瑕疵检测系统，测量精度是一个重要的技术指标。它决定了系统能够检测到的瑕疵的最小尺寸，如0.1mm以上的斑点、污点、孔洞等。
5. 系统功能和适用性：除了基本的性能指标外，还需要考虑系统的功能和适用性。例如，系统是否支持在线检测、离线分析、系统维护及数据管理等功能，以及系统的适用宽度、CCD数量等是否满足被测物的需求。
设计阶段瑕疵检测系统的性能评估指标应综合考虑准确性、精度、召回率、特异性、处理速度、测量精度以及系统功能和适用性等多个方面，以确保系统在实际应用中能够满足生产需求并持续优化。
