测量图像缺陷检测的灵敏度可以通过以下步骤进行：
1. 制作参照图像数据并转换：
基于参照图像数据，在多个方向上计测图案的宽度。
将参照图像数据转换为与图案在各方向上的宽度相对应的亮度，制作多个扫描图像数据。
2. 比较并制作图像数据：
比较多个扫描图像数据，从中选出最小亮度的数据，制作宽度图像数据。
3. 缺陷部分抽取与判定：
基于被检查图像数据与参照图像数据，抽取缺陷部分。
在图案宽度达到最小亮度的方向上，测定缺陷部分的尺寸，并将其转换为亮度，制作缺陷尺寸图像数据。
基于缺陷尺寸图像数据与宽度图像数据，对缺陷部分进行缺陷判定。
4. 利用特定算法评估：
可以采用如利用被测试像素与其相邻像素之间的距离、基于每个像素周围像素块的中值、或利用图像中的局部离散参数进行评估和分析等算法，来进一步确认和测量图像缺陷检测的灵敏度。
5. 考虑绝对与相对灵敏度：
在某些情况下，如射线照相法探伤，还可以考虑绝对灵敏度和相对灵敏度的概念。绝对灵敏度是指在射线照相底片上能发现的最小缺陷厚度尺寸，而相对灵敏度是指发现的最小缺陷尺寸占射线穿透工件厚度的百分比。这一思路也可以类比应用于图像缺陷检测中，通过度量能检测出的最小缺陷尺寸来评估灵敏度。
测量图像缺陷检测的灵敏度是一个多步骤的过程，涉及图像数据的处理、算法的应用以及灵敏度的度量。
