机器视觉智能测量仪进行故障诊断可以按照以下步骤进行：
1. 检查电源和硬件连接：
检查测量仪的电源线是否接通，以及开关是否正常。若电源未接通，测量仪将无法启动，需检查电源线、开关等。
接着，检查测量仪内部的硬件连接，如图像卡、IO卡等是否插紧，以及CPU、内存模块等硬件是否存在故障。若发现硬件连接松动或损坏，应及时更换或修复。
2. 检查相机和网络连接：
启动客户端软件，检查相机是否启用。若相机未正常启动，可能是网线连接异常，需检查相机电源连接是否正常，以及网络连接是否稳定。
若客户端软件可以发现相机但连接失败，可能是相机与客户端不在同一局域网，需检查网络连接是否正常，并尝试重新插拔网线。
3. 检查镜头和光圈：
若软件视频画面全黑，可能是镜头光圈关闭或相机工作异常。应打开镜头光圈，并尝试断电重启相机。
4. 检查软件设置和激活状态：
若客户端软件点击视频无反应，可能是开发工具激活损坏或客户端软件未正式激活。应联系厂家激活软件。
检查软件设置是否正确，如防火墙是否关闭，巨型贞设置、链接速度和双工设置是否为默认值等。
5. 检查测量路径和探针状态：
在进行3D测量时，若测量路径规划错误导致探针异常触发，应禁止探针，移动机台，探针复位后再使能探针。
检查探针是否已使能且未触发，以及光学尺是否能正常读数等。
6. 查看日志文件并寻求技术支持：
若以上步骤无法解决问题，可以找到测量软件安装目录下的日志文件，并电邮给技术支持人员寻求帮助。
机器视觉智能测量仪的故障诊断涉及电源、硬件、相机、网络连接、镜头光圈、软件设置和激活状态、测量路径和探针状态等多个方面。在诊断过程中，应逐一排查可能的问题点，并采取相应的解决措施。
